近日，長(zhǎng)三角一體化示范區(qū)（浙江嘉善）嘉芯半導(dǎo)體設(shè)備科技有限公司發(fā)生工商變更，新增股東比亞迪股份有限公司、深圳市創(chuàng)啟開(kāi)盈創(chuàng)業(yè)投資合伙企業(yè)（有限合伙）；公司注冊(cè)資本從3.71億元增加到4.12億元。
2021年，以寧波芯恩為主體攜手掌握離子注入機(jī)技術(shù)的萬(wàn)業(yè)企業(yè)，成立嘉芯半導(dǎo)體，萬(wàn)業(yè)和寧波芯恩的持股比重分別為80%和20%。嘉芯半導(dǎo)體聚焦半導(dǎo)體核心設(shè)備賽道，覆蓋包括刻蝕、薄膜沉積、快速熱處理及退火、清洗設(shè)備等設(shè)備環(huán)節(jié)。
據(jù)悉，寧波芯恩成立于 2017 年，法定代表人為中芯國(guó)際創(chuàng)始人張汝京。
圖片來(lái)源：拍信網(wǎng)正版圖庫(kù)
據(jù)嘉芯半導(dǎo)體董事長(zhǎng)兼CEO周偉芳介紹，嘉芯半導(dǎo)體投資興建的109畝產(chǎn)業(yè)園區(qū)僅用8個(gè)月時(shí)間便完成了新建廠房的封頂，預(yù)計(jì)即將完成全部的竣工驗(yàn)收，下半年開(kāi)始搬入，未來(lái)將成為華東地區(qū)最大的集成電路前道設(shè)備研發(fā)制造基地之一。
項(xiàng)目總投資20億元，規(guī)劃面積達(dá)109畝，擁有14萬(wàn)方廠房面積，覆蓋刻蝕機(jī)、薄膜沉積、快速熱處理及褪火等多款集成電路核心前道設(shè)備，未來(lái)將形成種類齊全的設(shè)備基地。
目前，嘉芯半導(dǎo)體累計(jì)訂單已突破4.6億元。其中包括氮化硅等離子刻蝕機(jī)、金屬等離子刻蝕機(jī)、側(cè)墻等離子刻蝕機(jī)等在內(nèi)的刻蝕設(shè)備，高密度等離子薄膜沉積設(shè)備（HDP-CVD）、二氧化硅等離子薄膜沉積設(shè)備（PECVD）、摻雜硼磷二氧化硅薄膜化學(xué)沉積設(shè)備（SACVD）、鈦/氮化鈦沉積設(shè)備（MOCVD）、鋁銅金屬濺射設(shè)備（PVD）等在內(nèi)的薄膜沉積設(shè)備，以及快速熱處理（RTP）、雙燃燒+雙水洗尾氣處理等多個(gè)品類。（文：集邦化合物半導(dǎo)體 Amber整理）
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