近日，優(yōu)睿譜宣布完成近億元A輪融資，由基石浦江領(lǐng)投，渾璞投資、星河資本、中南創(chuàng)投、泓湖資本、杭州盟合、景寧?kù)`岸等跟投。
融資將用于新產(chǎn)品的研發(fā)及量產(chǎn)。同時(shí)，該公司宣布啟用無(wú)錫技術(shù)中心和上海金橋研發(fā)中心。
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優(yōu)睿譜成立于2021年，是一家半導(dǎo)體前道制程量測(cè)設(shè)備公司，核心團(tuán)隊(duì)由長(zhǎng)期從事半導(dǎo)體行業(yè)的海歸博士和國(guó)內(nèi)資深的IC前道制程量測(cè)設(shè)備技術(shù)團(tuán)隊(duì)構(gòu)成。其自主開(kāi)發(fā)了半導(dǎo)體專(zhuān)用傅里葉變換紅外光譜測(cè)量設(shè)備，可以用來(lái)測(cè)量外延層厚度及均勻性、元素濃度、硅料雜質(zhì)含量等。
優(yōu)睿譜FTIR設(shè)備Eos200Lite可用于碳化硅外延片外延層厚度及均勻性測(cè)量，目前已獲得多家頭部碳化硅基外延廠訂單。（文：集邦化合物半導(dǎo)體 Doris整理）
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