近日，南砂晶圓總經(jīng)理王垚浩在接受采訪時(shí)表示，公司正在積極擴(kuò)產(chǎn)濟(jì)南廠區(qū)，計(jì)劃將中晶芯源打造成為全國(guó)最大的8英寸SiC襯底生產(chǎn)基地，投資額15億元，于2025年實(shí)現(xiàn)滿產(chǎn)達(dá)產(chǎn)。
source：南砂晶圓
據(jù)悉，南砂晶圓8英寸SiC單晶和襯底項(xiàng)目于2023年6月12日落地山東濟(jì)南，成立于2023年5月的中晶芯源是該項(xiàng)目的主建方。今年1月30日，中晶芯源8英寸SiC單晶和襯底產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目正式備案。
項(xiàng)目方面，南砂晶圓還在廣州南沙區(qū)布局了SiC項(xiàng)目，總投資9億元，該項(xiàng)目2023年4月已經(jīng)試投產(chǎn)，達(dá)產(chǎn)后年產(chǎn)各類襯底片和外延片共20萬片。
產(chǎn)品方面，2021年，南砂晶圓正式啟動(dòng)導(dǎo)電型襯底研發(fā)；2022年9月，南砂晶圓聯(lián)合山東大學(xué)成功實(shí)現(xiàn)8英寸導(dǎo)電型4H-SiC單晶和襯底的制備，采用物理氣相傳輸法（PVT）擴(kuò)徑制備了8英寸導(dǎo)電型4H-SiC單晶，并加工成厚度520μm的8英寸4H-SiC襯底；2023年南砂晶圓導(dǎo)電型襯底對(duì)部分客戶進(jìn)入批量供貨階段。
技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)能建設(shè)持續(xù)深化助推南砂晶圓受到資本市場(chǎng)青睞，自2021年以來，南砂晶圓已相繼完成5輪融資，投資方包括華民基金、華訊方舟基金、揚(yáng)子江基金、魯信創(chuàng)投、渾璞投資、鼎心資本、中廣投資等機(jī)構(gòu)。
隨著中晶芯源8英寸SiC項(xiàng)目建成達(dá)產(chǎn)，南砂晶圓8英寸SiC襯底產(chǎn)能有望位居行業(yè)前列。（集邦化合物半導(dǎo)體Zac整理）
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