住友重工離子技術(shù)公司明年將推出SiC離子注入設(shè)備

作者 | 發(fā)布日期 2024 年 05 月 16 日 17:55 | 分類 企業(yè)

5月16日,據(jù)日媒導報,住友重工子公司—住友重工離子技術(shù)公司最早將于2025年在市場上推出用于碳化硅(SiC)功率半導體的離子注入機。

source:住友重工離子技術(shù)公司

報介紹,離子注入設(shè)備將磷、硼等雜質(zhì)離子注入晶圓中,以改變其電特性。對于硅晶片,在離子注入后進行熱處理以恢復結(jié)晶度。但對于SiC來說,僅用離子注入后的熱處理也難以恢復結(jié)晶性。慣用的方法是將SiC晶片加熱至約500攝氏度之后,再進行離子注入并進行熱處理。由于其操作工藝復雜,因此,SiC半導體存在產(chǎn)量比硅半導體低的問題。

此次,住友重工離子技術(shù)公司計劃改進其推出的產(chǎn)品的離子注入方法,在保持SiC半導體質(zhì)量的同時提高產(chǎn)量。

值得一提的是,同為離子注入設(shè)備廠商的Axcelis,其SiC離子注入機設(shè)備訂單表現(xiàn)突出—2023年,SiC設(shè)備業(yè)務(wù)營收占Axcelis總營收的34%,成為其業(yè)績重要組成部分和增長動力。今年,在不到一個月的時間內(nèi),Axcelis已完成三起SiC設(shè)備訂單的出貨,客戶包括中國、日本等地的功率器件制造商。

source:Axcelis

TrendForce集邦咨詢最新《2024全球SiC Power Device市場分析報告》顯示,SiC在汽車、可再生能源等功率密度和效率極其重要的應用市場中仍然呈現(xiàn)加速滲透之勢,未來幾年整體市場需求將維持增長態(tài)勢,預估2028年全球SiC Power Device市場規(guī)模有望達到91.7億美金。(集邦化合物半導體Morty)

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