鎵仁半導體制備出3英寸晶圓級(010)氧化鎵單晶襯底

作者 | 發(fā)布日期 2024 年 07 月 16 日 16:53 | 分類 企業(yè)

7月15日,據鎵仁半導體官微消息,鎵仁半導體于今年7月成功制備出3英寸晶圓級(010)氧化鎵單晶襯底,據稱為目前國際上已報導的最大尺寸。

source:鎵仁半導體

據鎵仁半導體介紹,在氧化鎵單晶襯底常見的主流晶面中,(010)襯底在物理特性和外延方面具有出色的表現(xiàn)。首先,(010)襯底熱導率最高,有利于提升功率器件性能;第二,(010)襯底具有較快的外延生長速率;第三,基于(010)襯底制備的器件具有更優(yōu)異的性能。

資料顯示,鎵仁半導體成立于2022年9月,是一家專注于氧化鎵等超寬禁帶半導體單晶襯底及外延材料研發(fā)、生產和銷售的廠商。鎵仁半導體開創(chuàng)了非導模法氧化鎵單晶生長新技術,突破了國際市場對氧化鎵材料的壟斷,可提供具有完全自主知識產權的氧化鎵單晶襯底材料。

技術進展方面,此前,鎵仁半導體聯(lián)合浙江大學杭州國際科創(chuàng)中心先進半導體研究院、硅及先進半導體材料全國重點實驗室,采用楊德仁院士團隊自主開創(chuàng)的鑄造法成功制備了高質量6英寸非故意摻雜及導電型氧化鎵(β-Ga2O3)單晶襯底。

2024年4月,鎵仁半導體推出了新產品2英寸晶圓級(010)氧化鎵半絕緣單晶襯底,并實現(xiàn)了2英寸(010)氧化鎵單晶襯底的自主量產,打破了國際壟斷。

融資方面,今年4月,鎵仁半導體宣布完成數千萬元天使輪融資,本輪融資由藍馳創(chuàng)投領投,禹泉資本、毅嶺資本跟投,融資資金將用于強化團隊、加速氧化鎵襯底材料新方法及中試線研發(fā)。(集邦化合物半導體Zac整理)

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