1月9日，據(jù)中國(guó)電科48所官微消息，中國(guó)電科48所立式氧化爐近日完成批量交付。
source：中國(guó)電科48所
據(jù)介紹，立式氧化爐是6-8英寸碳化硅功率器件及硅基集成電路制造關(guān)鍵工藝設(shè)備，主要用于高溫氧化及退火工藝。
據(jù)悉，氧化退火對(duì)于碳化硅功率器件制造至關(guān)重要。首先，氧化退火處... [詳內(nèi)文]
中國(guó)電科48所立式氧化爐批量交付 |
| 作者 chen, zac|發(fā)布日期 2025 年 01 月 10 日 17:33 | 分類(lèi) 產(chǎn)業(yè) , 企業(yè) |