source：中宜創(chuàng)芯

資料顯示，碳化硅粉體純度直接影響單晶的生長質(zhì)量和電學(xué)性能，純度越高，單晶的生長質(zhì)量和電學(xué)性能越優(yōu)秀。

據(jù)中宜創(chuàng)芯公司技術(shù)總監(jiān)楊正宏介紹，目前全球碳化硅粉體純度最高達(dá)8N（99.999999%），核心技術(shù)由一家國際行業(yè)巨頭掌握。表面看起來，中宜創(chuàng)芯和國際巨頭的產(chǎn)品純度差距很小，但實際上，中間還隔著很深的技術(shù)“護(hù)城河”。中宜創(chuàng)芯下一步的目標(biāo)就是調(diào)動所有的資源，全力突破8N。

中宜創(chuàng)芯成立于2023年5月，是由中國平煤神馬控股集團(tuán)有限公司（以下簡稱：平煤神馬，持股比例70%）和平頂山發(fā)展投資控股集團(tuán)有限公司（持股比例30%）共同出資設(shè)立的合資公司，主要開展電子級高純碳化硅粉體和碳化硅襯底的生產(chǎn)和經(jīng)營業(yè)務(wù)，其產(chǎn)品具有單爐產(chǎn)能大、顆粒度大、純度高、阿爾法含量高和游離碳低等優(yōu)點(diǎn)，更適合8英寸碳化硅厚單晶的生長。

早在2021年，平煤神馬投資7000萬元，啟動碳化硅基半導(dǎo)體材料示范線開發(fā)項目，主要研發(fā)生產(chǎn)碳化硅粉體和碳化硅襯底材料，旨在打造芯片材料產(chǎn)業(yè)“試驗田”。

隨后在2023年1月4日，平煤神馬生產(chǎn)的碳化硅高純粉體和碳化硅晶錠成功下線。彼時，平煤神馬生產(chǎn)線生產(chǎn)的碳化硅粉體產(chǎn)品純度已達(dá)6N5（99.99995%），碳化硅晶錠產(chǎn)品質(zhì)量達(dá)國內(nèi)一流水平。

中宜創(chuàng)芯碳化硅粉體項目一期于2023年6月20日開工建設(shè)，9月20日項目建成并試生產(chǎn)，9月30日首批產(chǎn)品出爐。2023年國慶期間，經(jīng)權(quán)威機(jī)構(gòu)檢測，中宜創(chuàng)芯首爐碳化硅粉體產(chǎn)品純度為99.99996%，達(dá)到國內(nèi)優(yōu)等品標(biāo)準(zhǔn)。

今年5月，中宜創(chuàng)芯碳化硅粉體項目一期500噸生產(chǎn)線成功達(dá)產(chǎn)，產(chǎn)品純度最高達(dá)到99.99999%。預(yù)計明年年底，二期工程建成投產(chǎn)，將實現(xiàn)2000噸年產(chǎn)能目標(biāo)。項目全部達(dá)產(chǎn)后，碳化硅粉體產(chǎn)品預(yù)計在國內(nèi)市占率超30%，全球市占率超10%。

產(chǎn)業(yè)化進(jìn)展方面，目前國內(nèi)30多家企業(yè)和研究機(jī)構(gòu)正在對中宜創(chuàng)芯產(chǎn)品進(jìn)行試用和驗證。預(yù)計今年年底，其中10家以上企業(yè)和研究機(jī)構(gòu)將完成產(chǎn)品驗證并進(jìn)行批量購貨，并逐步實現(xiàn)進(jìn)口替代。（集邦化合物半導(dǎo)體Zac整理）

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據(jù)悉，項目總投資6億元，本次僅針對一期工程，主要建設(shè)年產(chǎn)500噸電子級高純碳化硅粉體生產(chǎn)線（生產(chǎn)區(qū)包含混料間、粉料合成間、純化間、原材料庫、成品庫等，辦公區(qū)包含會議室、辦公室等）、公用和環(huán)保配套設(shè)施設(shè)備等。

該項目采用改進(jìn)自蔓延高溫合成法（SHS）制備碳化硅粉體工藝（原料按一定化學(xué)計量比通過多向運(yùn)動混合機(jī)將原料Si粉和C粉混合均勻，并裝入石墨坩堝中；然后將石墨坩堝放入原料合成爐，關(guān)爐，待真空抽至0.0001Pa以下后，充入氬氣等至所需壓強(qiáng)；接著按一定升溫速率進(jìn)行升溫至所需溫度進(jìn)行高溫合成，待一段時間后，降溫停爐。出爐后的碳化硅為塊狀，利用晶體一體機(jī)進(jìn)行破碎、研磨和篩分，破碎、研磨用來消除結(jié)塊和晶須，篩分使得粒徑分級，之后進(jìn)入純化爐進(jìn)行焙燒，除去未反應(yīng)的碳和浮灰，冷卻后包裝、標(biāo)記、入庫），設(shè)備均采用相符原料合成爐，所用原料Si粉和C粉純度均為6N以上，在高溫下持續(xù)反應(yīng)，最后得到高純碳化硅粉體。

作為該項目主導(dǎo)方，中宜創(chuàng)芯成立于2023年5月24日，由中國平煤神馬控股集團(tuán)和平頂山發(fā)展投資控股集團(tuán)共同出資設(shè)立。

項目方面，中宜創(chuàng)芯正在分期建設(shè)年產(chǎn)2000噸碳化硅半導(dǎo)體粉體生產(chǎn)線，總投資20億元。其中，項目一期總投資6億元，年產(chǎn)能500噸，占地12000平方米，于2023年6月20日開工建設(shè)，9月20日項目建成并試生產(chǎn)，9月30日首批產(chǎn)品出爐。

隨后在今年5月，中宜創(chuàng)芯碳化硅半導(dǎo)體粉體500噸生產(chǎn)線成功達(dá)產(chǎn)，產(chǎn)品純度最高達(dá)到99.99999%，已在國內(nèi)多家企業(yè)和研究機(jī)構(gòu)開展試用和驗證。

技術(shù)方面，作為一家碳化硅半導(dǎo)體粉體研發(fā)、生產(chǎn)和銷售企業(yè)，中宜創(chuàng)芯擁有先進(jìn)的粉體合成爐和自動化無污染破碎技術(shù)，其產(chǎn)品具有單爐產(chǎn)能大、顆粒度大、純度高、阿爾法含量高和游離碳低等優(yōu)點(diǎn)，更適合8英寸碳化硅厚單晶的生長。（集邦化合物半導(dǎo)體Zac整理）

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近日，河南中宜創(chuàng)芯發(fā)展有限公司（以下簡稱中宜創(chuàng)芯）SiC半導(dǎo)體粉體500噸生產(chǎn)線成功達(dá)產(chǎn)，產(chǎn)品純度最高達(dá)到99.99999%，已在國內(nèi)二十多家企業(yè)和研究機(jī)構(gòu)開展試用和驗證。

source：中宜創(chuàng)芯

中宜創(chuàng)芯SiC粉體項目持續(xù)突破

根據(jù)此前公開消息，中宜創(chuàng)芯SiC粉體項目總投資20億元，計劃分期建設(shè)年產(chǎn)2000噸碳化硅半導(dǎo)體粉體生產(chǎn)線。其中，項目一期總投資6億元，年產(chǎn)能500噸，占地12000平米。

從項目進(jìn)度來看，中宜創(chuàng)芯SiC粉體項目一期于2023年6月20日開工建設(shè)，9月20日項目建成并試生產(chǎn)，9月30日首批產(chǎn)品出爐。2023年國慶期間，經(jīng)權(quán)威機(jī)構(gòu)檢測，中宜創(chuàng)芯首爐SiC粉體產(chǎn)品純度為99.99996%，達(dá)到國內(nèi)優(yōu)等品標(biāo)準(zhǔn)。10月17日該項目一期試生產(chǎn)結(jié)束，第一批設(shè)備全部投料完成，標(biāo)志著中宜創(chuàng)芯SiC粉體開始進(jìn)入批量生產(chǎn)階段。

歷時三個月，該項目一期從開工進(jìn)入到試生產(chǎn)階段，再經(jīng)過半年時間，項目又完成從試產(chǎn)到達(dá)產(chǎn)轉(zhuǎn)變，在建設(shè)進(jìn)度方面進(jìn)展較快。與此同時，SiC粉體產(chǎn)品純度不斷提升，已由99.99996%進(jìn)一步提高到99.99999%。

目前，中宜創(chuàng)芯SiC粉體產(chǎn)品正在被國內(nèi)多家企業(yè)和研究機(jī)構(gòu)試用和驗證，在一定程度上顯示了該產(chǎn)品市場認(rèn)可度較高，也為中宜創(chuàng)芯SiC粉體后續(xù)擴(kuò)產(chǎn)項目順利進(jìn)行起到了一定的推動作用。

中宜創(chuàng)芯技術(shù)進(jìn)擊

作為一家SiC粉體和襯底廠商，中宜創(chuàng)芯成立于2023年5月，是一家成立僅一年的初創(chuàng)企業(yè)，但能夠在短時間內(nèi)在SiC領(lǐng)域取得重大進(jìn)展，與持有其70%股權(quán)的平煤神馬集團(tuán)有直接關(guān)系。

早在2021年，平煤神馬集團(tuán)投資7000萬元，啟動SiC基半導(dǎo)體材料示范線開發(fā)項目，主要研發(fā)生產(chǎn)SiC粉體和SiC襯底材料，旨在打造芯片材料產(chǎn)業(yè)“試驗田”。

隨后在2023年1月4日，平煤神馬集團(tuán)生產(chǎn)的SiC高純粉體和SiC晶錠成功下線。彼時，該生產(chǎn)線生產(chǎn)的SiC粉體產(chǎn)品純度已達(dá)99.99995%，SiC晶錠產(chǎn)品質(zhì)量達(dá)國內(nèi)一流水平。從99.99995%到99.99996%，再到99.99999%，中宜創(chuàng)芯持續(xù)優(yōu)化技術(shù)水平。

背靠平煤神馬集團(tuán)，中宜創(chuàng)芯利用先進(jìn)的粉體合成爐和自動化無污染破碎技術(shù)組織研發(fā)生產(chǎn)，具有單爐產(chǎn)能大、顆粒度大、純度高、阿爾法含量高和游離碳低等優(yōu)點(diǎn)，更適合8英寸SiC厚單晶晶錠的生長。今年2月，中宜創(chuàng)芯實驗室成功生長出河南省第一塊8英寸SiC單晶晶錠，驗證了中宜創(chuàng)芯SiC半導(dǎo)體粉體在長晶方面的優(yōu)勢。

此外，中宜創(chuàng)芯通過合作獲得技術(shù)支持。例如，今年1月初，平煤神馬集團(tuán)旗下中宜創(chuàng)芯與乾晶半導(dǎo)體簽訂戰(zhàn)略合作協(xié)議，雙方將在推進(jìn)行業(yè)技術(shù)創(chuàng)新、SiC材料質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)建設(shè)等方面開展合作。

乾晶半導(dǎo)體專注于第三代半導(dǎo)體材料領(lǐng)域，從事SiC單晶生長、晶片加工和設(shè)備開發(fā)。乾晶半導(dǎo)體已與浙大科創(chuàng)中心先進(jìn)半導(dǎo)體研究院成立聯(lián)合實驗室，共同承擔(dān)SiC材料的產(chǎn)業(yè)化任務(wù)。2023年，乾晶半導(dǎo)體完成了億元Pre-A輪融資，融資資金將用于SiC襯底的技術(shù)創(chuàng)新和批量生產(chǎn)。與乾晶半導(dǎo)體合作，有助于中宜創(chuàng)芯推進(jìn)SiC材料技術(shù)研發(fā)。

小結(jié)

目前，中宜創(chuàng)芯SiC粉體500噸生產(chǎn)線已達(dá)產(chǎn)，正在沖刺2000噸年產(chǎn)能目標(biāo)。據(jù)稱，項目全部達(dá)產(chǎn)后，中宜創(chuàng)芯SiC粉體產(chǎn)品在國內(nèi)市場占有率在30%以上，全球市場占有率在10%以上。屆時，中宜創(chuàng)芯有望成為SiC粉體頭部廠商，并在一定程度上實現(xiàn)國產(chǎn)替代。

近期，在SiC產(chǎn)業(yè)眾多擴(kuò)產(chǎn)項目當(dāng)中，SiC粉體項目相對較少，但市場空間是巨大的，未來有望看到更多粉體項目簽約落地，共同加速國內(nèi)產(chǎn)品崛起。（文：集邦化合物半導(dǎo)體Zac）

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