source：廣州粵升

廣州粵升表示，此批設(shè)備在第一代外延爐基礎(chǔ)上做了進一步優(yōu)化設(shè)計，具備生產(chǎn)高質(zhì)量、高穩(wěn)定性的外延片生產(chǎn)能力。

資料顯示，廣州粵升成立于2021年，專注于碳化硅外延設(shè)備、碳化硅晶體生長設(shè)備的研發(fā)和生產(chǎn)。

2022年6月，廣州粵升與廣州海創(chuàng)產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院合作，成立SiC外延設(shè)備研發(fā)中心；11月，首臺SiC外延設(shè)備研發(fā)成功；2023年2月，廣州粵升開始液相法SiC單晶設(shè)備的研發(fā)；9月，該公司SiC外延設(shè)備產(chǎn)品裝車交付；11月，液相法SiC單晶設(shè)備批量交付；2024年9月，實現(xiàn)SiC外延設(shè)備的大批量出貨。

廣州粵升指出，公司自主研發(fā)的SiC外延設(shè)備，已在客戶端連續(xù)穩(wěn)定運行近兩年，能夠滿足厚膜以及3C晶型的外延要求。

值得一提的是，廣州粵升的母公司東莞市中科匯珠半導(dǎo)體，旗下產(chǎn)品包含:傳統(tǒng)4H-n型SiC襯底的外延片、基于液相法4H-p型SiC和3C-SiC襯底的外延片，目前產(chǎn)品已取得國內(nèi)頭部SiC器件企業(yè)的多輪流片驗證，具備規(guī)模量產(chǎn)能力。（集邦化合物半導(dǎo)體Morty整理）

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廣州粵升液相法SiC單晶爐批量出貨

11月13日，廣州粵升半導(dǎo)體設(shè)備有限公司（以下簡稱廣州粵升）多臺SiC設(shè)備產(chǎn)品批量出貨。據(jù)悉，其出貨產(chǎn)品-液相法SiC單晶爐，是SiC產(chǎn)業(yè)鏈中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，可為客戶提供高質(zhì)量、低成本的SiC襯底新方案。

資料顯示，廣州粵升成立于2021年9月，專注于SiC外延設(shè)備、SiC晶體生長設(shè)備的研發(fā)和生產(chǎn)，助力客戶生產(chǎn)高質(zhì)量的SiC外延片和晶片。

成立兩年以來，廣州粵升產(chǎn)品研發(fā)進展較快。2022年6月，廣州粵升與廣州海創(chuàng)產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院合作，成立SiC外延設(shè)備研發(fā)中心；11月，首臺SiC外延設(shè)備研發(fā)成功；2023年2月，廣州粵升開始液相法SiC單晶設(shè)備的研發(fā)；9月，該公司SiC外延設(shè)備產(chǎn)品裝車交付；11月，液相法SiC單晶設(shè)備批量交付。

值得一提的是，廣州粵升自主研發(fā)的4/6英寸SiC外延設(shè)備，生長的4/6英寸SiC外延片質(zhì)量均達到國際先進水平，滿足MOSFET和SBD器件的制備要求，在一定程度上加速了SiC外延設(shè)備國產(chǎn)化進程。

圖片來源：拍信網(wǎng)正版圖庫

優(yōu)睿譜晶圓電阻率測量設(shè)備發(fā)貨兩家客戶

近日，優(yōu)睿譜半導(dǎo)體設(shè)備（無錫）有限公司（以下簡稱優(yōu)睿譜）宣布推出晶圓電阻率量測設(shè)備SICV200，目前已經(jīng)同時發(fā)貨兩家客戶。

據(jù)介紹，SICV200是一款用于測量硅片電阻率、SiC或其它半導(dǎo)體材料摻雜濃度的半導(dǎo)體量測設(shè)備，可支持對包括12英寸在內(nèi)的各種不同尺寸晶圓，進行多頻率下CV特性分析。機臺配置上，SICV200具有各種尺寸的半自動方案以及符合SEMI標準的全自動方案，可直接對接客戶工廠MES系統(tǒng)，實現(xiàn)自動化生產(chǎn)。

資料顯示，優(yōu)睿譜成立于2021年，致力于打造高品質(zhì)的半導(dǎo)體前道量測設(shè)備。

今年7月，優(yōu)睿譜SiC自動光學(xué)位錯微管檢測設(shè)備SICD系列交付客戶，可用于SiC襯底的位錯及微管缺陷檢測。據(jù)介紹，較國內(nèi)同類功能的設(shè)備，SICD設(shè)備在檢測速度上提升了數(shù)倍。

此外，優(yōu)睿譜FTIR設(shè)備Eos200Lite可用于SiC外延片外延層厚度及均勻性測量，目前已獲得多家頭部SiC基外延廠訂單。未來，優(yōu)睿譜有望加快出貨速度。（集邦化合物半導(dǎo)體Zac整理）

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