目前，PVT生長(zhǎng)工藝是國內(nèi)廠商生長(zhǎng)SiC晶體的主流方法，液相法生長(zhǎng)技術(shù)則處于研究和開發(fā)階段。
關(guān)于液相法SiC晶體生長(zhǎng)設(shè)備，晶升股份提前開展了相關(guān)布局并已經(jīng)在2023年提供樣機(jī)給多家客戶，隨后晶升股份協(xié)同客戶不斷進(jìn)行優(yōu)化和改進(jìn)，進(jìn)一步提升晶體的品質(zhì)與良率。
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近日，晶升股份液相法SiC晶體生長(zhǎng)設(shè)備研究取得新進(jìn)展，已成功研發(fā)出液相法SiC晶體生長(zhǎng)設(shè)備并提供給了多家客戶，將會(huì)繼續(xù)配合客戶不斷進(jìn)行設(shè)備的優(yōu)化和改進(jìn)工作。
此前，晶升股份8英寸SiC長(zhǎng)晶設(shè)備已實(shí)現(xiàn)批量出貨，其中包含PVT感應(yīng)加熱/電阻加熱單晶爐、TSSG單晶爐等類別產(chǎn)品，下游應(yīng)用完整覆蓋主流導(dǎo)電型/半絕緣型SiC晶體生長(zhǎng)及襯底制備。
得益于在晶體生長(zhǎng)設(shè)備領(lǐng)域形成豐富的產(chǎn)品序列，能夠滿足客戶差異化、定制化的晶體生長(zhǎng)制造工藝需求，晶升股份逐步發(fā)展成為國內(nèi)具有較強(qiáng)競(jìng)爭(zhēng)力的半導(dǎo)體級(jí)晶體生長(zhǎng)設(shè)備供應(yīng)商，并在2023年陸續(xù)開拓了三安光電、東尼電子、比亞迪、合晶科技、上海新昇、金瑞泓、神工股份等客戶。
2023年，晶升股份業(yè)績(jī)表現(xiàn)良好，實(shí)現(xiàn)營收4.06億元，同比增長(zhǎng)82.70%；歸母凈利潤(rùn)0.71億元，同比增長(zhǎng)105.63%；歸母扣非凈利潤(rùn)0.42億元，同比增長(zhǎng)86.64%。2023年，晶升股份、北方華創(chuàng)、晶盛機(jī)電等多家SiC設(shè)備相關(guān)廠商實(shí)現(xiàn)營收凈利雙雙增長(zhǎng)，也在一定程度上顯示了SiC設(shè)備細(xì)分賽道發(fā)展前景光明。
此次成功研發(fā)出液相法SiC晶體生長(zhǎng)設(shè)備，晶升股份將進(jìn)一步擴(kuò)充其SiC長(zhǎng)晶設(shè)備產(chǎn)品系列，并有望進(jìn)一步擴(kuò)大客戶陣營。（集邦化合物半導(dǎo)體Zac整理）
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