2018年，特斯拉在Model 3上率先采用了碳化硅器件，自此，碳化硅開(kāi)始駛?cè)氚l(fā)展的快車道。時(shí)至今日，碳化硅正在沖擊8英寸的“龍門(mén)”，而設(shè)備端作為碳化硅降本增效不能忽視的一環(huán)，能助力碳化硅飛得更高。
也因此，相關(guān)設(shè)備廠商持續(xù)發(fā)力，不斷滿足產(chǎn)業(yè)鏈對(duì)設(shè)備的要求。近日，連城數(shù)控便宣布了一項(xiàng)10.5億的投資項(xiàng)目。
10.5億擴(kuò)大長(zhǎng)晶設(shè)備產(chǎn)能
連城數(shù)控在1月10日發(fā)布公告稱，公司及下屬全資子公司連科半導(dǎo)體擬與無(wú)錫市錫山區(qū)錫北鎮(zhèn)人民政府簽署《錫山區(qū)工業(yè)項(xiàng)目投資協(xié)議書(shū)》，計(jì)劃在無(wú)錫市投資建設(shè)“第三代半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)制造項(xiàng)目”。
目前，這一計(jì)劃有了新進(jìn)展。根據(jù)連城數(shù)控發(fā)布的公告，3月22日，協(xié)議各方已正式完成《第三代半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)制造項(xiàng)目投資協(xié)議書(shū)》的全部簽署工作。本次協(xié)議簽署后，協(xié)議各方將按照約定積極推進(jìn)本次項(xiàng)目投資事宜。
根據(jù)此前的公告內(nèi)容，“第三代半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)制造項(xiàng)目”擬投資不超過(guò)10.5億元，規(guī)劃建設(shè)半導(dǎo)體大硅片長(zhǎng)晶和加工設(shè)備、碳化硅長(zhǎng)晶和加工設(shè)備的研發(fā)和生產(chǎn)制造基地。
據(jù)了解，連城數(shù)控主要從事于光伏及半導(dǎo)體行業(yè)，是提供晶體材料生長(zhǎng)、加工設(shè)備及核心技術(shù)等多方面業(yè)務(wù)支持的集成服務(wù)商。
source：拍信網(wǎng)正版圖庫(kù)
其中，在碳化硅方面，連城數(shù)控于2020年底開(kāi)始對(duì)碳化硅晶體生長(zhǎng)爐進(jìn)行研發(fā)立項(xiàng)、2021年9月開(kāi)始對(duì)碳化硅等超硬材料多線切割機(jī)研發(fā)立項(xiàng)。2023年上半年，連城數(shù)控取得了多項(xiàng)技術(shù)研發(fā)成果，如創(chuàng)新推出單晶爐設(shè)備“一鍵拉晶”系統(tǒng)、液相法碳化硅長(zhǎng)晶爐順利下線并取得客戶數(shù)臺(tái)訂單、碳化硅立式感應(yīng)合成爐科研成果通過(guò)專家團(tuán)鑒定等。而隨著“第三代半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)制造項(xiàng)目”的實(shí)施，連城數(shù)控將擴(kuò)大碳化硅設(shè)備產(chǎn)能，提升企業(yè)在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域的綜合競(jìng)爭(zhēng)力。
業(yè)績(jī)方面，連城數(shù)控在2023年業(yè)績(jī)快報(bào)中指出，受益于全球光伏及半導(dǎo)體市場(chǎng)需求的持續(xù)穩(wěn)定增長(zhǎng)、行業(yè)技術(shù)創(chuàng)新及政策支持等綜合因素的共同作用，光伏及半導(dǎo)體企業(yè)的市場(chǎng)需求仍保持積極增長(zhǎng)。2023年，公司實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入600,003.79萬(wàn)元，同比增長(zhǎng)59.06%；歸母凈利潤(rùn)70,539.58萬(wàn)元，同比增長(zhǎng)55.97%。
碳化硅設(shè)備企業(yè)“快馬加鞭”
碳化硅風(fēng)頭正勁，設(shè)備企業(yè)迎風(fēng)起跑。除了擴(kuò)大產(chǎn)能外，碳化硅設(shè)備端也頻繁發(fā)布8英寸技術(shù)產(chǎn)品。
其中，在長(zhǎng)晶爐方面，北方華創(chuàng)已開(kāi)發(fā)了3種機(jī)型的8英寸SiC長(zhǎng)晶設(shè)備；晶升股份8英寸SiC長(zhǎng)晶設(shè)備已在客戶處經(jīng)過(guò)批量驗(yàn)證。
外延設(shè)備方面，北方華創(chuàng)可為6/8英寸SiC產(chǎn)線提供外延爐；晶盛機(jī)電在SEMICON China2024上海國(guó)際半導(dǎo)體展上發(fā)布了8英寸雙片式碳化硅外延設(shè)備、8英寸碳化硅量測(cè)設(shè)備、12英寸全自動(dòng)減薄拋光設(shè)備；納設(shè)智能、中電48所等也已成功研發(fā)8英寸SiC外延爐。
另一方面，國(guó)產(chǎn)碳化硅設(shè)備也逐漸進(jìn)入國(guó)際企業(yè)供應(yīng)鏈體系。受設(shè)備認(rèn)證周期較長(zhǎng)、廠商更換成本高、穩(wěn)定性風(fēng)險(xiǎn)等因素影響，國(guó)產(chǎn)碳化硅設(shè)備企業(yè)走向國(guó)際困難重重，但這一現(xiàn)狀正在被打破，比如優(yōu)晶科技便于2023年底獲得一家國(guó)際半導(dǎo)體巨頭的碳化硅長(zhǎng)晶設(shè)備訂單。
此外，2024年以來(lái)，多家碳化硅設(shè)備企業(yè)紛紛更新IPO動(dòng)態(tài)。
其中，碳化硅外延設(shè)備廠商納設(shè)智能、芯三代均已接受輔導(dǎo)；優(yōu)晶科技、聯(lián)訊儀器也正處于輔導(dǎo)階段。其中，優(yōu)晶科技業(yè)務(wù)中包含SiC長(zhǎng)晶設(shè)備設(shè)計(jì)、研發(fā)、生產(chǎn)、服務(wù)和銷售；聯(lián)訊儀器則提供高端測(cè)試儀器和設(shè)備，產(chǎn)品的應(yīng)用領(lǐng)域包含碳化硅。
而晶亦精微則在2月5日順利過(guò)會(huì)。據(jù)悉，晶亦精微控股股東是中電科四十五所，實(shí)際控制人為中國(guó)電科集團(tuán)。晶亦精微主營(yíng)半導(dǎo)體設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及技術(shù)服務(wù)。
結(jié)語(yǔ)
碳化硅從6英寸向8英寸進(jìn)化的步伐正在加快，而8英寸也將是碳化硅設(shè)備大規(guī)模應(yīng)用的重要戰(zhàn)場(chǎng)。
從技術(shù)到產(chǎn)能再到訂單，國(guó)產(chǎn)碳化硅設(shè)備企業(yè)持續(xù)發(fā)力，助力國(guó)內(nèi)襯底廠商加速迭代，在全球市場(chǎng)上與國(guó)際企業(yè)競(jìng)爭(zhēng)。（文：集邦化合物半導(dǎo)體 Winter）
更多SiC和GaN的市場(chǎng)資訊，請(qǐng)關(guān)注微信公眾賬號(hào)：集邦化合物半導(dǎo)體。