2018年，特斯拉在Model 3上率先采用了碳化硅器件，自此，碳化硅開始駛?cè)氚l(fā)展的快車道。時至今日，碳化硅正在沖擊8英寸的“龍門”，而設備端作為碳化硅降本增效不能忽視的一環(huán)，能助力碳化硅飛得更高。
也因此，相關設備廠商持續(xù)發(fā)力，不斷滿足產(chǎn)業(yè)鏈對設備的要求。近日，連城數(shù)控便宣布了一項10.5億的投資項目。
10.5億擴大長晶設備產(chǎn)能
連城數(shù)控在1月10日發(fā)布公告稱，公司及下屬全資子公司連科半導體擬與無錫市錫山區(qū)錫北鎮(zhèn)人民政府簽署《錫山區(qū)工業(yè)項目投資協(xié)議書》，計劃在無錫市投資建設“第三代半導體設備研發(fā)制造項目”。
目前，這一計劃有了新進展。根據(jù)連城數(shù)控發(fā)布的公告，3月22日，協(xié)議各方已正式完成《第三代半導體設備研發(fā)制造項目投資協(xié)議書》的全部簽署工作。本次協(xié)議簽署后，協(xié)議各方將按照約定積極推進本次項目投資事宜。
根據(jù)此前的公告內(nèi)容，“第三代半導體設備研發(fā)制造項目”擬投資不超過10.5億元，規(guī)劃建設半導體大硅片長晶和加工設備、碳化硅長晶和加工設備的研發(fā)和生產(chǎn)制造基地。
據(jù)了解，連城數(shù)控主要從事于光伏及半導體行業(yè)，是提供晶體材料生長、加工設備及核心技術等多方面業(yè)務支持的集成服務商。
source：拍信網(wǎng)正版圖庫
其中，在碳化硅方面，連城數(shù)控于2020年底開始對碳化硅晶體生長爐進行研發(fā)立項、2021年9月開始對碳化硅等超硬材料多線切割機研發(fā)立項。2023年上半年，連城數(shù)控取得了多項技術研發(fā)成果，如創(chuàng)新推出單晶爐設備“一鍵拉晶”系統(tǒng)、液相法碳化硅長晶爐順利下線并取得客戶數(shù)臺訂單、碳化硅立式感應合成爐科研成果通過專家團鑒定等。而隨著“第三代半導體設備研發(fā)制造項目”的實施，連城數(shù)控將擴大碳化硅設備產(chǎn)能，提升企業(yè)在第三代半導體領域的綜合競爭力。
業(yè)績方面，連城數(shù)控在2023年業(yè)績快報中指出，受益于全球光伏及半導體市場需求的持續(xù)穩(wěn)定增長、行業(yè)技術創(chuàng)新及政策支持等綜合因素的共同作用，光伏及半導體企業(yè)的市場需求仍保持積極增長。2023年，公司實現(xiàn)營業(yè)收入600,003.79萬元，同比增長59.06%；歸母凈利潤70,539.58萬元，同比增長55.97%。
碳化硅設備企業(yè)“快馬加鞭”
碳化硅風頭正勁，設備企業(yè)迎風起跑。除了擴大產(chǎn)能外，碳化硅設備端也頻繁發(fā)布8英寸技術產(chǎn)品。
其中，在長晶爐方面，北方華創(chuàng)已開發(fā)了3種機型的8英寸SiC長晶設備；晶升股份8英寸SiC長晶設備已在客戶處經(jīng)過批量驗證。
外延設備方面，北方華創(chuàng)可為6/8英寸SiC產(chǎn)線提供外延爐；晶盛機電在SEMICON China2024上海國際半導體展上發(fā)布了8英寸雙片式碳化硅外延設備、8英寸碳化硅量測設備、12英寸全自動減薄拋光設備；納設智能、中電48所等也已成功研發(fā)8英寸SiC外延爐。
另一方面，國產(chǎn)碳化硅設備也逐漸進入國際企業(yè)供應鏈體系。受設備認證周期較長、廠商更換成本高、穩(wěn)定性風險等因素影響，國產(chǎn)碳化硅設備企業(yè)走向國際困難重重，但這一現(xiàn)狀正在被打破，比如優(yōu)晶科技便于2023年底獲得一家國際半導體巨頭的碳化硅長晶設備訂單。
此外，2024年以來，多家碳化硅設備企業(yè)紛紛更新IPO動態(tài)。
其中，碳化硅外延設備廠商納設智能、芯三代均已接受輔導；優(yōu)晶科技、聯(lián)訊儀器也正處于輔導階段。其中，優(yōu)晶科技業(yè)務中包含SiC長晶設備設計、研發(fā)、生產(chǎn)、服務和銷售；聯(lián)訊儀器則提供高端測試儀器和設備，產(chǎn)品的應用領域包含碳化硅。
而晶亦精微則在2月5日順利過會。據(jù)悉，晶亦精微控股股東是中電科四十五所，實際控制人為中國電科集團。晶亦精微主營半導體設備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及技術服務。
結(jié)語
碳化硅從6英寸向8英寸進化的步伐正在加快，而8英寸也將是碳化硅設備大規(guī)模應用的重要戰(zhàn)場。
從技術到產(chǎn)能再到訂單，國產(chǎn)碳化硅設備企業(yè)持續(xù)發(fā)力，助力國內(nèi)襯底廠商加速迭代，在全球市場上與國際企業(yè)競爭。（文：集邦化合物半導體 Winter）
更多SiC和GaN的市場資訊，請關注微信公眾賬號：集邦化合物半導體。