2024年3月20日-22日，全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)盛會(huì)SEMICON China 2024在上海圓滿(mǎn)收官。作為全球高端半導(dǎo)體設(shè)備制造商，德國(guó)PVA TePla集團(tuán)在本次展會(huì)上向業(yè)界展示了多款前沿技術(shù)產(chǎn)品，獲得了半導(dǎo)體客戶(hù)的廣泛關(guān)注。
展會(huì)期間，PVA TePla向行業(yè)隆重介紹了其產(chǎn)品家族里的新成員—為中國(guó)市場(chǎng)定制的首款碳化硅晶體生長(zhǎng)設(shè)備“SiCN”?！癝iCN”結(jié)合了半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)特點(diǎn)，將德國(guó)的設(shè)計(jì)經(jīng)驗(yàn)和理念與中國(guó)本土化生產(chǎn)配套能力優(yōu)勢(shì)聯(lián)合，采用PVT法(物理氣相傳輸工藝)生產(chǎn)碳化硅晶體，該款設(shè)備計(jì)劃于2024Q2投入市場(chǎng)。
Source：PVA TePla
“SiCN”設(shè)計(jì)全方位貼合工藝特性，以實(shí)現(xiàn)更低能耗和更優(yōu)效益，同時(shí)設(shè)備的高度一致性和自動(dòng)化長(zhǎng)晶控制可有效提高良率，助力提高最終產(chǎn)品的附加值和核心競(jìng)爭(zhēng)力。另外，“SiCN” 具備模組化設(shè)計(jì)理念，可兼容多種尺寸，同時(shí)擁有經(jīng)過(guò)實(shí)操認(rèn)證的低功耗線(xiàn)圈設(shè)計(jì)，且占地面積小，布局緊湊。另外，該款設(shè)備非常適合工業(yè)化大規(guī)模生產(chǎn)的要求，其優(yōu)秀的工藝匹配性，可讓客戶(hù)在PVA設(shè)備上使用原有自身工藝，無(wú)需進(jìn)行大幅改動(dòng)。
Source：PVA TePla
PVA在晶體制造系統(tǒng)方面積累了超過(guò)60年的經(jīng)驗(yàn)，已形成了較為明顯的技術(shù)優(yōu)勢(shì)，這與其過(guò)往的并購(gòu)經(jīng)歷緊密相關(guān)，其中包括收購(gòu)Leybold-Heraeus與Haldor-Topsoe，這是PVA晶體生長(zhǎng)技術(shù)的核心來(lái)源。
PVA TePla集團(tuán)半導(dǎo)體業(yè)務(wù)中國(guó)區(qū)負(fù)責(zé)人謝秀紅表示：“PVA已經(jīng)掌握幾乎所有工業(yè)領(lǐng)域應(yīng)用的晶體生長(zhǎng)技術(shù)，無(wú)論是區(qū)熔法、直拉法、垂直梯度法，還是化學(xué)氣相傳輸法?；谶@些經(jīng)驗(yàn)，我們的所有設(shè)備追求非常極致的質(zhì)量和安全標(biāo)準(zhǔn)，并且對(duì)系統(tǒng)的自動(dòng)化、標(biāo)準(zhǔn)化都有著獨(dú)到的理解和技術(shù)訣竅。”
PVA TePla集團(tuán)已在全球范圍內(nèi)銷(xiāo)售大量的碳化硅晶體生長(zhǎng)系統(tǒng)，并與全球領(lǐng)先的主流碳化硅襯底材料供應(yīng)商共同研發(fā)并為其提供長(zhǎng)晶設(shè)備，其設(shè)備穩(wěn)定性和產(chǎn)品質(zhì)量一致性，在大尺寸碳化硅材料的研發(fā)過(guò)程中起到了關(guān)鍵作用。
隨著中國(guó)成為全球碳化硅產(chǎn)業(yè)的重要生產(chǎn)基地，PVA TePla集團(tuán)已在中國(guó)陜西西安建立了生產(chǎn)基地、演示中心及供應(yīng)鏈中心，旨在將高端設(shè)備國(guó)產(chǎn)化，以更好地助力中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)提升和發(fā)展，特別是碳化硅晶體和大尺寸單晶硅片的生產(chǎn)。
同時(shí)，為了堅(jiān)定服務(wù)中國(guó)市場(chǎng)的決心，并貼合本土市場(chǎng)需求，德國(guó)PVA TePla集團(tuán)也在進(jìn)一步完善本地團(tuán)隊(duì)技術(shù)服務(wù)，加強(qiáng)與下游合作伙伴的研發(fā)合作，并且提供更加專(zhuān)業(yè)化、定制化的本地支持，幫助合作伙伴更加便捷、快速的實(shí)現(xiàn)大規(guī)模生產(chǎn)能力。（來(lái)源：PVA TePla集團(tuán)）
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