近日，上海優(yōu)睿譜半導(dǎo)體設(shè)備有限公司（下文簡(jiǎn)稱(chēng)“優(yōu)睿譜”）成功交付客戶(hù)一款晶圓邊緣檢測(cè)設(shè)備SICE200，設(shè)備可用于硅基以及化合物半導(dǎo)體襯底及外延晶圓的邊緣缺陷檢測(cè)。
source：優(yōu)睿譜
據(jù)介紹，優(yōu)睿譜本次推出的SICE200設(shè)備可兼容6&8英寸碳化硅&硅襯底和外延晶圓邊緣檢測(cè)，也適用于其他化合物襯底及外延晶圓的邊緣缺陷檢測(cè)；可同時(shí)實(shí)現(xiàn)對(duì)晶圓360°檢測(cè)；擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的光機(jī)系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)高分辨率、高檢出率及高檢測(cè)速率……
除了SICE200，針對(duì)碳化硅，優(yōu)睿譜半導(dǎo)體于2023年推出了碳化硅襯底晶圓位錯(cuò)及微管檢測(cè)設(shè)備SICD200和晶圓電阻率量測(cè)設(shè)備SICV200。SID200可實(shí)現(xiàn)碳化硅位錯(cuò)檢測(cè)的整片晶圓全檢測(cè)，并已獲境外顧客訂；SICV200可用于硅片電阻率、碳化硅或其它半導(dǎo)體材料摻雜濃度的測(cè)量，已得到多家客戶(hù)的訂單。
半導(dǎo)體量檢測(cè)設(shè)備是芯片生產(chǎn)的核心設(shè)備之一，貫穿整個(gè)芯片的生產(chǎn)過(guò)程，對(duì)保證芯片良率起著關(guān)鍵作用。
值得一提的是，同為半導(dǎo)體量檢測(cè)設(shè)備企業(yè)的蓋澤科技也于近日完成了新一輪融資。
天眼查顯示，在一年左右的時(shí)間里，蓋澤科技已完成3輪融資。
據(jù)悉，蓋澤科技已完成12英寸大尺寸晶圓的Online晶圓量測(cè)技術(shù)，覆蓋FTIR膜厚量測(cè)技術(shù)、元素濃度計(jì)量技術(shù)等，可應(yīng)用于硅、碳化硅、氮化鎵、砷化鎵、磷化銦等材料晶圓的量檢需求，目前已向多家央企、國(guó)企、上市晶圓公司等知名半導(dǎo)體企業(yè)交付，并用于碳化硅、硅晶圓外延層的批量量測(cè)中。（集邦化合物半導(dǎo)體Morty整理）
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