9月9日，據(jù)常州日?qǐng)?bào)消息，江蘇方碩建設(shè)集團(tuán)有限公司研發(fā)成功國(guó)內(nèi)首臺(tái)大型真空碳化硅冶煉爐，并計(jì)劃投資年產(chǎn)20萬噸高品位碳化硅項(xiàng)目，9月1日，該項(xiàng)目通過專家組論證。
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據(jù)報(bào)道，該設(shè)備形狀類似平躺的圓柱，長(zhǎng)120米、直徑達(dá)12米，最多能裝1650噸碳化硅。據(jù)項(xiàng)目技術(shù)負(fù)責(zé)人介紹，該設(shè)備設(shè)計(jì)難度較大，集成了尾氣回收系統(tǒng)，從根本上解決了煙塵的污染，能將高純尾氣中的一氧化碳與氫氣合成甲醇。
報(bào)道顯示，目前，大型真空碳化硅冶煉爐在我國(guó)還未投入工業(yè)化應(yīng)用，作為國(guó)內(nèi)首臺(tái)設(shè)備，該冶煉爐在工藝和技術(shù)上進(jìn)行了科學(xué)的研發(fā)設(shè)計(jì)，能耗比傳統(tǒng)設(shè)備降低20%左右。
官網(wǎng)資料顯示，江蘇方碩建設(shè)集團(tuán)有限公司成立于2017年1月，是一家集工程設(shè)計(jì)、房屋建造、建筑智能化、機(jī)電安裝、環(huán)保工程、輸變電工程、工程維保、工程材料銷售等于一體的綜合性建筑企業(yè)集團(tuán)。
近期，國(guó)內(nèi)企業(yè)在碳化硅設(shè)備研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化方面不時(shí)傳出新進(jìn)展，除上述碳化硅冶煉爐外，碳化硅晶錠剝離設(shè)備也有利好消息。
此前據(jù)新聞晨報(bào)報(bào)道，8月21日，從江蘇通用半導(dǎo)體有限公司傳來消息，由該公司自主研發(fā)的國(guó)內(nèi)首套8英寸碳化硅晶錠激光全自動(dòng)剝離設(shè)備正式交付碳化硅襯底生產(chǎn)領(lǐng)域頭部企業(yè)，并投入生產(chǎn)。
據(jù)悉，該設(shè)備可實(shí)現(xiàn)6英寸和8英寸碳化硅晶錠的全自動(dòng)分片，將極大地提升國(guó)內(nèi)碳化硅芯片產(chǎn)業(yè)的自主化、產(chǎn)業(yè)化水平。該設(shè)備年可剝離碳化硅襯底20000片，實(shí)現(xiàn)良率95%以上，與傳統(tǒng)的線切割工藝相比，大幅降低了產(chǎn)品損耗，而設(shè)備售價(jià)僅僅是國(guó)外同類產(chǎn)品的1/3。（集邦化合物半導(dǎo)體整理）
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